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超高真空排气台,中华真空设备网http://www.chinavac.net
超高真空排气台
产品类别:其他 发布日期:2007年8月6日
产品介绍:
用途:
电真空器件的真空除气、封口处理,提高电真空器件的使用寿命。 技术指标:
最高温度:750
o
C
有效工作区:Φ700×900
加热功率:15KW
极限真空:≤5×10
-6
Pa
工作真空:≤5×10
-4
Pa(40分钟内达到)
外室真空:≤5Pa
液压升降:左右可旋转±90
o
设备配置:
机械泵+溅射离子泵+金属超高伐等组成抽气系统
九工位排气接口装置
可控硅加热调节,智能化仪表程序控温 备注:并有400、500、600等多种型号可供选择,亦可以根据用户需要另行设计制造。
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